尹志尧：男，1944年生，美国国籍，中国科学技术大学学士，美国加州大学洛杉矶分校博士。曾任英特尔中心技术开发部工艺工程师，泛林半导体研发部资深工程师、研发部资深经理，应用材料等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。2004年至今，担任中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长及总经理。2019年3月至今任澜起科技第一届董事会独立董事。

陈世敏：男，1958年生，美国国籍，上海财经大学学士、硕士，美国佐治亚大学博士。1985年至1986年，担任上海财经大学教师；1991年至1998年，担任宾州克莱瑞恩大学（Clarion University of Pennsylvania）会计学副教授、教授；1998年至2002年，担任香港岭南大学会计学副教授；2002年至2004年，担任路易斯安那大学拉法叶分校（The University of Louisianaat Lafayette）会计学副教授；2004年至2005年，担任香港岭南大学会计学副教授；2005年至2008年，历任香港理工大学会计学副教授，会计金融学院副主任；2008年至今，历任中欧国际工商学院会计学教授，副教务长及工商管理硕士主任，案例中心主任。现任中微公司独立董事。

张卫：男，1968年出生，中国国籍，无境外永久居留权，西安交通大学学士、硕士、博士。1995年6月至2019年6月历任复旦大学副教授、教授、微电子学系系主任、微电子学院副院长、微电子学院执行院长，2019年6月至今任复旦大学微电子学院院长，2020年9月至今任公司独立董事。

陈大同：男，中国国籍，无境外永久居留权，1955年出生，本科及研究生毕业于清华大学半导体器件及物理专业，博士研究生学历，美国伊利诺伊大学、美国斯坦福大学博士后研究。1993年至1995年任美国国家半导体公司高级工程师；1995年至2000年，作为共同创始人创办豪威科技有限公司（OminiVisionTechnologies.Inc.）并任技术副总裁；2000年至2008年，作为共同创始人创办展讯通信（上海）有限公司并任首席技术官；2008年至2009年任北极光早期创业投资企业投资合伙人；2009年至今作为创始合伙人创办北京清石华山资本投资咨询有限公司并任董事总经理；2014年至今任北京清芯华创投资管理有限公司董事、投资决策委员会主席；2018年至今任元禾璞华（苏州）投资管理有限公司董事、主管合伙人、投资决策委员会主席。2018年至今兼任江波龙有限及公司董事。

孔伟先生：1971年生，中国国籍，无境外永久居留权，甘肃政法学院学士。1993年至1997年，担任甘肃省经济律师事务所律师；1997年至1998年，担任史密夫律师行律师助理；1998年至1999年，担任外立综合法律事务所律师助理；1999年至2001年，担任上海市瑛明律师事务所律师；2001年至今，担任中伦律师事务所合伙人。现任中微公司独立董事。