张国铭：男，中国国籍，1964年出生，硕士，曾任北京七星华创集成电路装备有限公司董事长、Sevenstar Electronics，Inc.董事长、北京七星华创流量计有限公司执行董事、北京北方华创微电子装备有限公司董事、北方华创科技集团股份有限公司副总经理等；现任上海华虹（集团）有限公司董事、合肥芯碁微电子装备股份有限公司独立董事、华海清科股份有限公司董事及总经理、上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司董事、本公司董事。

刘晓辉：男，1968年3月出生，中国国籍，研究生学历，高级工程师。历任北京飞行电子总公司事业部副部长、技术经理，北京七星华创电子股份有限公司微电子分公司副总经理、总经理，北京七星华创电子股份有限公司总经理助理。现任北京七星华创电子股份有限公司副总经理。

龙小鸽：男，1961年3月出生，中国国籍，本科，工程师。曾任798厂质量检测站理化实验室工程师、室主任，798厂质量检测站副经理，798厂质量检测计量站主任，798厂科技质量部部长，798厂副总工程师，北京七星华电科技集团有限责任公司企划部部长，北京七星华创电子股份有限公司科技开发部部长，北京七星华创精密电子科技有限责任公司常务副总裁。现任北京七星华创精密电子科技有限责任公司常务副总裁，北京七星华创微波电子技术有限公司董事，北京七一八友晟电子有限公司董事，北京七一八友益电子有限责任公司董事，北京晨晶电子有限公司董事，本公司副总裁。

陶海虹：女，1975年2月出生，中国国籍，硕士，高级人力资源管理师。曾任北京建中机器厂真空设备研究所副所长、所长，微电子设备分公司技术副经理，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司总裁助理、人力资源副总经理、党委书记，北京七星华创电子股份有限公司党委书记，北京北方华创微电子装备有限公司党委书记、副总经理。现任北京北方华创微电子装备有限公司董事。本公司董事、执行委员会副主席、总经理。

张莉娟女士：英国伯明翰大学硕士，注册会计师，高级会计师。现任北京嘉博文生物科技有限公司财务总监。2013年11月至今任新华百货第六届董事会独立董事。