叶甜春先生：本公司独立董事，中国国籍，研究员，博士生导师。现任中国科学院微电子研究所所长，同时兼任中国科学院EDA中心主任。学术兼职包括：中国科学院微电子技术战略指导委员会专家，中国电子学会高级会员，中国物理学会同步辐射专业委员会常委，中国真空学会纳米与表面专业委员会常委。

朱煜：男，中国国籍，无境外永久居留权，1965年出生，毕业于中国矿业大学机械工程与理论专业，博士学位，清华大学机械工程系教授。1983年8月至2004年9月，任教于中国矿业大学，先后任讲师、副教授；2001年7月至2004年9月，于清华大学从事博士后研究工作；2004年10月至今，任清华大学机械电子工程研究所所长、教授；2007年9月至2013年9月，任北京七星华创电子股份有限公司独立董事；2012年5月至今，就职于北京华卓精科科技股份有限公司（及其前身北京华卓精科科技有限公司），曾任董事长兼总经理，现任董事及首席科学家；2013年10月至今，任北京钢研新冶精特科技有限公司董事；2016年10月至2019年12月，任北方华创科技集团股份有限公司独立董事；2018年4月至2019年5月，任杭州天睿精密科技有限公司执行董事；2019年4月至今，任沈阳芯源微电子设备股份有限公司独立董事；2020年8月至今，任公司独立董事。

郇绍奎：男，汉，1971年3月出生，硕士，中国注册会计师，历任深圳市建设集团结算中心高级经理，蔚深证券有限责任公司投资银行部高级经理，深圳研祥智能科技股份有限公司董事、董秘，北京信汇科技有限公司董事、财务总监，北京七星华创电子股份有限公司独立董事，东方网力科技股份有限公司独立董事，水晶球创业投资股份有限公司董事、总经理，天津欧润科技有限公司执行董事，天津海之凰科技有限公司董事；2005年12月至今任今信汇科技有限公司董事，2010年9月至今任东方网力科技股份有限公司独立董事，2011年12月至今天津润亿生医药健康科技股份有限公司董事长，2013年5月至今任优云颐和科技股份有限公司董事长，2015年1月至今任天津眼力康科技有限公司执行董事，2015年5月至今任优丫优科技股份有限公司董事。

徐扬：男，1967年5月出生，工商管理硕士，律师。现任北京市重光律师事务所创始合伙人。

冉来明：1962年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，硕士研究生学历，1985年8月至1987年8月任机械科学研究院任翻译，1989年8月至1992年11月任中国车辆进出口公司业务员，1992年12月至1993年5月任中机威克尔进出口有限公司业务员，1993年6月至1995年8月任中国进口汽车贸易中心部门经理，1995年9月至1997年3月任中国机械进出口（集团）公司部门经理，1997年3月至1999年3月任中国机械进出口（集团）有限公司人力资源部副总经理，1999年4月1日至2004年10月中机海川国际船舶有限公司副总经理，2002年2月至2004年10月中国机械进出口（集团）公司集团副总裁，2012年7月至2018年5月国城矿业股份有限公司（原名：朝华科技（集团）股份有限公司）独立董事，2013年2月至2019年10月任爱思开（中国）企业管理有限公司高级副总裁、顾问，2013年9月至2016年10月任北方华创科技集团股份有限公司（原名：北京七星华创电子股份有限公司）独立董事，2016年4月至2018年12月任新疆宇澄热力股份有限公司董事，2005年5月至今任北京燕化永乐生物科技股份有限公司董事，2005年1月至今任仁和东方投资（北京）有限公司董事长。2021年8月，担任公司独立董事。